臭氧易分解，不穩(wěn)定參比狀態(tài)下臭氧的半衰期為 22~25 分鐘，一個(gè)小時(shí)的衰退率為 61% ，在 1% 的臭氧水溶液中半衰期約為 16 分鐘，且溫度越高，濕度越大，半衰期越短。臭氧具有很強(qiáng)的氧化能力。
臭氧水殺滅情況有些不同，其氧化反應(yīng)有兩種，微生物菌體既與溶解水中的臭氧直接反應(yīng)，又與臭氧分解生成之羥基OH的間接反應(yīng)，由于羥基OH為氧化性的氧化劑，因此臭氧水的殺菌速度極快。

臭氧的應(yīng)用主要是滅菌消毒。這主要是因?yàn)槌粞跤械难趸芰?，臭氧在一定濃度下能與細(xì)菌、病毒、病原體等微生物產(chǎn)生生化反應(yīng)。臭氧具有很高的能量，在常溫、常壓下很快自行分解為氧（O2）和單個(gè)氧原子（O），單個(gè)氧原子具有很強(qiáng)的活性，對(duì)細(xì)菌、病毒、病原體等微生物具有較強(qiáng)的氧化作用。

臭氧殺菌機(jī)理以氧化作用破壞微生物膜的結(jié)構(gòu)實(shí)現(xiàn)殺菌作用。臭氧作用于細(xì)胞膜，使膜構(gòu)成成份受損傷而導(dǎo)致新陳代謝障礙，臭氧繼續(xù)滲透穿透膜而破壞膜內(nèi)脂蛋白和脂多糖，改變細(xì)胞的通透性，導(dǎo)致細(xì)胞溶解、死亡。而臭氧滅活病毒則認(rèn)為氧化作用直接破壞其核糖核酸RNA或脫氧核糖核酸DNA物質(zhì)而完成的。

從世界的臭氧技術(shù)產(chǎn)業(yè)來(lái)看，以水處理的殺菌凈化為主要市場(chǎng)，而水凈化臭氧裝置包括臭氧源與氣水混合裝置兩部分。臭氧發(fā)生器應(yīng)提供足夠濃度與產(chǎn)量的臭氧，混合裝置以率使臭氧溶解在水中，即達(dá)到一定的臭氧溶解度。因此，一臺(tái)好的臭氧發(fā)生器要有優(yōu)良的氣水混合裝置，使臭氧能地和水混合，使水中的臭氧溶解度能滿足完全殺菌。

紫外線以光波輻射作用殺菌，只有照射到的位置且達(dá)到照射強(qiáng)度標(biāo)準(zhǔn)才有殺菌效果。食品加工車間很高、很大，照射強(qiáng)度與距離平方成反比，強(qiáng)度不夠，照射又有很大死角。臭氧為氣體，擴(kuò)散性好，無(wú)死角，濃度均勻紫外線殺菌在相對(duì)濕度60%以上時(shí)效果急劇下降，80%濕度上時(shí)反可誘使細(xì)菌復(fù)活。臭氧則相反，濕度越高殺菌效果越好，對(duì)食品行業(yè)80%－90%高濕環(huán)境特別適合

高壓放電式發(fā)生器： 該類臭氧發(fā)生器是使用一定頻率的高壓電流制造高壓電暈電場(chǎng)，使電場(chǎng)內(nèi)或電場(chǎng)周圍的氧分子發(fā)生電化學(xué)反應(yīng)，從而制造臭氧。 這種臭氧發(fā)生器具有技術(shù)成熟、工作穩(wěn)定、使用壽命長(zhǎng)、臭氧產(chǎn)量大（單機(jī)可達(dá)1Kg/h）等優(yōu)點(diǎn)，所以是國(guó)內(nèi)外相關(guān)行業(yè)使用廣泛的臭氧發(fā)生器。