該設(shè)備是用于通入硅烷制備新型硅碳材料的設(shè)備,具備高密封性和均溫的特點(diǎn)。
設(shè)備特點(diǎn):
(1)該設(shè)備是鴻峰窯爐生產(chǎn)的設(shè)備,僅應(yīng)用于硅碳的氣相沉積法制備
(2)該設(shè)備的使用溫度不1050度
(3)該設(shè)備可以實(shí)現(xiàn)物料在爐內(nèi)停留時(shí)間可控
(4)該設(shè)備爐管結(jié)構(gòu)特殊(物料和反應(yīng)氣體接觸均勻)
(5)該設(shè)備配置進(jìn)口的質(zhì)量流量計(jì)
(6)該設(shè)備配置除塵尾氣處理系統(tǒng)
(7)該設(shè)備爐管材料可以選擇金屬材質(zhì)或非金屬材料制作
(8)該設(shè)備溫控精度≤2℃
(9)該設(shè)備溫控采用PLC+PID方式
(10)該設(shè)備的爐襯全部選用輕質(zhì)耐火材料
(11)該設(shè)備占地面積小,能耗小,產(chǎn)量大